「靜電吸盤」一種利用工件與電極之間所產生的庫侖力來吸附的工具。因為對工件施加的是均勻的吸附力，特別適合用來固定精細、易碎的材料。
薄材用靜電吸附
無外接導線、薄型設計在保持吸附時即可直接放入晶圓載具。
一款面向自動化設備的靜電吸附工具，可對玻璃、薄膜、箔材、紙張等材料進行吸附、固定與搬運。
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